サーパス工業株式会社で製造している流量計
サーパス工業株式会社では，半導体やFPDの製造工程に必要な流量計の企画・開発・製造・販売を行っています。表示器のあるものとないもの，2種類の流量計を取り扱っており，接液部がPFAの一体成型品で，可動部の無いシンプルな構造になっています。接液部の外側に設置した超音波センサにより，渦を検出する方式です。
表示器のあるシリーズは，出力はアナログ出力・パルス出力・上下限設定を備えており，幅広い用途に使用することができます。表示器のないシリーズは，軽量・コンパクトであり，狭い間隔の並列配管が可能であり，装置設計に適しています。2つのシリーズを組み合わせたデジタルフローモニターシリーズは，遠隔表示が可能です。
